Effizienz und Energieeinsparungen bei Halbleitern

Wärmetauscher für die Halbleiterindustrie

Halbleiter-Hauptseite

In Halbleiterfertigungsanlagen kann schon eine winzige thermische Verschiebung den Ertrag zunichte machen. Hier geht es bei der Kühlung darum, Tropfen und heiße Stellen zu vermeiden, volle Lastschwankungen zu bewältigen, die Wasser- und Lufttemperaturen konstant zu halten und den Verschleiß von Kühlkreisläufen und Werkzeugen zu vermeiden.

Tranter kennt sich damit gut aus. Wir haben Wärmetauscher für die Halbleiterindustrie gebaut, die genau diese Anforderungen erfüllen: hohe thermische Beständigkeit, smarte Integration und Service, der Überraschungen vorhersieht.

Halbleiter

Schluss mit Verderb und Energieverschwendung

Strengere Temperaturkontrolle

Unsere optimierte Plattengeometrie sorgt für eine gleichmäßige Strömungsverteilung, so dass die Kühlwasser- und Luftzufuhr auch bei Lastschwankungen konstant bleibt.

Kommunikation

Geringere Pumpkosten

Optimierte Strömungswege reduzieren den Druckverlust, ohne die Wärmeübertragung zu beeinträchtigen, und senken so kontinuierlich den Energieverbrauch der Pumpe.

Wärmepumpe

Längere Laufzeiten

Für aggressive Chemikalien, aufbereitetes Wasser und häufige Reinigungszyklen werden Edelstahl- und hochlegierte Platten verwendet, was zu weniger Austausch und geringeren Lebenszykluskosten führt.

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Keine überraschenden Unterbrechungen

Verschmutzungsresistente Kanäle und schnell zu öffnende Gestelle bedeuten, dass Sie Wartungsfenster planen können, anstatt auf Ausfälle zu reagieren.

Wärmetauscher Plattenmuster

Leichtere Integration

Selbst in beengten Installationsräumen ermöglichen modulare Gestelle und flexible Anschlüsse eine unkomplizierte Nachrüstung. Neue Fertigungsanlagen lassen sich sauber und ohne Layout-Chaos installieren.

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Unterstützung vor und nach der Installation

Tranter-Ingenieure helfen bei der Entwicklung mit Betriebsdaten, Dimensionierung und Layout und unterstützen Sie mit Service und einer globalen Lieferkette.

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Halbleiter

Anwendungen in der Halbleiterfertigung

Ätzverfahren und Chemikalien

Im Ätzverfahren werden keine Fehler verziehen. Wenn die Temperatur oder die Konzentration abweicht, leidet Ihr Ertrag.

Die gedichteten Plattenwärmetauscher von Tranter bieten Ihnen die präzise Kontrolle, die diese Bäder erfordern. Mit hochlegierten oder Nickelplatten gebaut, halten sie korrosiven Säuren und Chemikalien stand, ohne an Zuverlässigkeit einzubüßen.

Wasseraufbereitung - Ultrareines Wasser (UPW)

Die Herstellung von Mikrochips erfordert eine strenge Kontrolle der Wasserqualität. Unsere geschweißten Titantauscher halten Reinstwasser und Kühlmedien auf präzisen Temperaturen, um die Reinheit zu schützen und den Wasserverbrauch zu senken. Dies bedeutet niedrigere Betriebskosten ohne Beeinträchtigung der Prozessintegrität.

Wafer-Herstellung

Das Schneiden von Siliziumblöcken in Wafer ist sowohl für die Sägen als auch für das Kühlmittel eine Herausforderung. Ohne stabile Kühlung überhitzen sich die Sägeblätter und die Leistung der Suspension lässt nach.

Die gedichteten Plattenwärmetauscher von Tranter sorgen für eine präzise Kühlung der Schneidflüssigkeiten in einem kompakten und effizienten Design, das direkt in die Wafervorbereitungslinien passt.

Säure-Präparat-Semikond
Reinst-UPV
Wafer-Platten---Halbleiter

Warum Tranter

Ein Partner, dem Sie vertrauen können

In der Praxis bewährt

Unsere Wärmetauscher werden weltweit in Umgebungen mit Werkzeugschwankungen, hoher Belastung und anspruchsvollen thermischen Spezifikationen getestet.

OEM-Know-how

Über 90 Jahre Erfahrung in der Konstruktion von Wärmetauschern und in der Wärmetechnik.

Globale Reichweite

Servicezentren und Lieferkettenunterstützung, wo und wann Sie sie brauchen.

Anwendungsorientiertes Design

Ausgelegt für die einzigartigen Anforderungen der Halbleiterfertigung an Effizienz und Haltbarkeit.

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Innovation mit Blick auf Ihre Zukunft

Die Halbleitertechnik erfordert immer höhere Wärmebelastungen, engere Toleranzen, mehr Nachhaltigkeit, natürlichere Kältemittel und mehr Diagnosemöglichkeiten.

Die Forschungs- und Entwicklungsarbeit von Tranter konzentriert sich auf bessere Plattengeometrien, Materialien, die der Zyklusermüdung standhalten, und Gestellkonstruktionen, die den Zugang, die Inspektion und die Diagnose beschleunigen. Die Kühlung erfüllt also nicht nur Ihre heutigen Anforderungen, sondern ist auch für die Zukunft gerüstet.

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Tranter FullServ® - Service ohne Grenzen

Mit Tranter FullServ® erhalten Sie Lebenszyklus-Support für Wärmetauscher aller Fabrikate. Wir sorgen dafür, dass Ihre Anlagen in Betrieb bleiben, von der Inspektion und Überholung bis hin zum Notfallservice vor Ort.

Unsere reaktionsschnellen Teams und lokalen Servicezentren auf der ganzen Welt sorgen dafür, dass Ihre Wärmetauscher länger Spitzenleistungen erbringen.

Ressourcenzentrum

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Ressourcenzentrum

Einführung der ThermoFit™ DN150-Plattenserie

Energy, Process industries Marine and shipbuilding Sustainability

Plate series introduction: The Omniflex™

The Omniflex™ plate pattern – A patented Tranter design enabling high energy efficiency. The unique plate pattern induce high turbulence and enhanced heat transfer rates, yet with low pressure drop.

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Plate series introduction: The GT-165

The GT-165 is designed for optimized energy efficiency in District Heating and Cooling applications with LMTDs as low as 1 degree Kelvin.

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