提高效率并节约能源

用于半导体行业的换热器

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在半导体制造过程中,稳定的冷却系统至关重要。为了实现精确的热控制并尽可能降低能源成本,暖通空调系统离不开高效的换热器。

我们的垫片板式换热器,能够有效减轻冷水机组负荷,维持洁净室环境的温湿度稳定,降低长期运营费用。

半导体行业

满足半导体行业需求

精准温控

独有的流道及流体分布设计
精准控制温度
高效利用压降

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持久高效

专利的板片结构设计
充分满足可变负载系统
延长系统运行时间

Heat exchanger Plates with nozzles

高效节能

我们的换热器可缩短冷水机运行时间,从而降低暖通空调系统的整体能耗。

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半导体行业

半导体行业的应用

制酸及化学品

在半导体和微电子制造过程中,工业蚀刻通过化学浴刻蚀出所需的结构形状。蚀刻化学槽对温度和浓度控制要求极高,而板式换热器在酸液制备和槽液温控中发挥着关键作用。
传特的板式换热器可采用多种高合金或镍基合金材质,能够可靠应对各种腐蚀性化学品和酸性工况。

水处理——PCW/UPW/NW

在半导体行业,超纯水(UPW)和工艺冷却介质的水处理对于保障各制造环节中水的纯度与温度至关重要。板式换热器可实现对冷却介质温度的精确控制,是提升效率、减少总体用水量的理想选择。超纯水主要用于计算机微芯片的制造,对温度控制与洁净度有极高要求。

传特的全焊接板式换热器在确保系统洁净度的同时,实现高度精确的温控,满足苛刻的半导体工艺需求。

晶圆准备

晶圆是用于制造集成电路等微电子器件的硅锭薄片。经过蚀刻、离子注入、材料沉积和光刻图案等多道微制造工艺后,硅锭通过高温线锯切割成晶圆。在此过程中,切割需使用冷却液或切割浆液以控制温度,而这些液体需通过板式换热器进行有效冷却。
传特的垫片式板式换热器为此类冷却应用提供了紧凑、高效且可靠的解决方案。

Acid preperation of wafers
Ultra-pure-UPV
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解决方案—垫片式板式换热器

  • 拥有多系列垫片式换热器,可满足应用工况需求
  • 采用模块化设计,通过不同的板片组合方式与框架类型,实现多种产品配置,最大限度提升不同介质间的换热效率
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无忧售后服务

  • 服务热线:400 6500 169 丨021-5757 8806
  • 7X24小时无忧售后服务
  • 服务网络覆盖全球,本地服务优质快捷
  • 全品牌服务,为所有品牌板式换热器提供服务,一站式解决所有故障和难题

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